具有极低吸放气率的极高真空微电离规

摘要

本发明涉及一种具有极低吸放气率的极高真空微电离规,包括玻璃外壳、电子发射体、阳极、离子收集极和偏置电极;电子发射体和离子收集极相对阳极等距、同轴安装于玻璃外壳内,偏置电极为玻璃外壳内的金膜,阳极为圆环通过支撑引线从玻璃外壳一侧的支脚引出;离子收集极为一金属丝。本发明在量测的压强范围灵敏度高,采用冷阴极场致发射电子源,规的总功率降低到0.1瓦左右。

主权项

1、一种具有极低吸放气率的极高真空微电离规，其特征在于，该电离规包括玻璃外壳、电子发射体、阳极、离子收集极和偏置电极；所述的玻璃外壳的一端与玻璃芯柱熔封，玻璃外壳的侧壁与待测系统或容器相接；所述的电子发射体和离子收集极相对阳极等距、同轴安装于玻璃外壳内；所述的偏置电极为玻璃外壳内的金膜，金膜电极引线伸出玻璃外壳；所述的电子发射体通过两电极引线支撑杆固定于玻璃芯柱上；所述的阳极为圆环通过支撑引线从玻璃外壳一侧的支脚引出；所述的离子收集极为一金属丝，安置于管轴上，其一端从玻璃外壳引出。