| 摘要 |
<p>Ein computer-gespeichertes Rasterbild wird mittels eines relativ zu einem lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger kontinuierlich verschieblichen einen Lichtmodulator enthaltenden Belichtungskopfes schachbrettfeldweise aufgezeichnet. Durch die anhaltende Relativbewegung würde sich bei einer längeren Belichtungszeit eine verwischte unerwünschte Aufzeichnung ergeben. Dieser Verwischungseffekt wird durch die Verschiebung einer zwischen Aufzeichnungsträger und Belichtungskopf angeordneten zugleich abbildungsmaßstabbestimmenden Linse kompensiert. Vor Aufzeichnung eines neuen Feldes wird die verschobene Linse wieder in eine relative Ausgangsposition für das neue Feld zurückgesetzt, um während der nachfolgenden Aufzeichnung wieder kompensierend verschoben zu werden. Dieses Verfahren gestattet quasi eine Dauerbelichtung mit hoher Aufzeichnungsenergie, insbesondere durch Verwendung von Quecksilber-Bogenlampen und damit auch eine Direktbelichtung von Photo-Resist-Material, wie es z.B. bei der Herstellung gedruckter Leiterplatten verwendet wird. <IMAGE></p> |
