发明名称 Method and device for measuring the oxygen potential in a silicon melt
摘要 Gegenstand der Erfindung sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung des Sauerstoffpotentials in einer Siliciumschmelze mittels einer elektrochemischen Potentialsonde, die in die Schmelze eintaucht, dadurch gekennzeichnet, daß die Sondenspannung mit einer Potentialsonde gemessen wird, die aus einem SiO2-Glasröhrchen besteht, in dem sich Graphit in direktem Kontakt mit SiO2-Glas befindet, welcher am oberen Ende mit einem Metalldraht kontaktiert ist, und die Sonde nur soweit in die Siliciumschmelze eingetaucht wird, daß der von dem SiO2-Glasröhrchen eingeschlossene Kontaktpunkt zwischen Graphit und Metalldraht oberhalb der Siliciumschmelze liegt. <IMAGE>
申请公布号 EP0898166(B1) 申请公布日期 2000.01.12
申请号 EP19980115216 申请日期 1998.08.13
申请人 WACKER SILTRONIC 发明人 MUELLER, GEORG PROF. DR.;SEIDL, ALBRECHT DR.
分类号 G01N27/406;G01N27/36;G01N27/411;G01N27/416;(IPC1-7):G01N27/411 主分类号 G01N27/406
代理机构 代理人
主权项
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