具脉冲能量修整器之脉冲雷射

摘要

本案系用于提供雷射脉冲能量之精密控制的一种脉波雷射糸统；具奈秒或次奈秒范围的响应时间之一快速脉冲能量检测器将代表脉冲能量的一电气信号供至一触发电路，后者将该信号积分且在积分信号到达一预定位准时触发一光电切换器；该光电切换器之操作修整该脉冲能量之一部分，使得所得脉冲能量被维持在一致和期望的位准；在一较佳实施例中，该光电切换器包括一波口斯单胞和至少一个极化分光器；在此较佳实施例中，一光学延迟线将额外时间提供予脉冲修整组件供操作。

主权项

1.一种用以提供雷射脉冲能量之精密控制的脉冲雷射系统,包含有:A.用以产生一脉冲雷射光束的一脉冲雷射;B.一快速脉冲能量检测器,其具有在奈秒或次奈秒范围内的响应时间并被组构成以检测脉冲能量并对应于该脉冲能量产生一电气信号;C.一光电切换器,其具有在奈秒或次奈秒范围内的响应时间以阻挡在该脉冲雷射光束中部分之脉冲;D.一光电切换触发器,被组构来根据来自该快速脉冲能量检测器的信号控制该光电切换器。2.依据申请专利范围第1项之脉冲雷射系统,其中该脉冲雷射系一准分子雷射。3.依据申请专利范围第1项之脉冲雷射系统,其中该快速脉冲能量检测器系为一个光二极体。4.依据申请专利范围第1项之脉冲雷射系统,其中该光电切换器包含有一波口斯单胞和至少一个极化分光器。5.依据申请专利范围第4项之脉冲雷射系统,其中该光电切换触发器包含一触发电路,被配置成在来自该脉冲能量检测器的电气信号达到一预定値时提供高电压至该波口斯单胞。图式简单说明:第一图系本发明之一较佳实施例的一方块图;第二图A和第二图B显示较佳触发电路之电路图;第三图至第五图系本发明之其它较佳实施例的方块图。