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发明名称
摘要
申请公布号
JP2998164(B2)
申请公布日期
2000.01.11
申请号
JP19900043724
申请日期
1990.02.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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