发明名称 Vorrichtung zur Halterung von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE1772707(A1) 申请公布日期 1971.06.03
申请号 DE19681772707 申请日期 1968.06.22
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 MEYER,HANS
分类号 H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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