METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING A LIQUID FROM A SURFACE,申请号EP19980944906-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING A LIQUID FROM A SURFACE
摘要
申请公布号	EP0970511(A1)	申请公布日期	2000.01.12
申请号	EP19980944906	申请日期	1998.09.24
申请人	INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW	发明人	MERTENS, PAUL;MEURIS, MARC;HEYNS, MARC
分类号	H01L21/306;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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