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发明名称
摘要
申请公布号 NL7101110(A) 申请公布日期 1971.08.04
申请号 NL19710001110 申请日期 1971.01.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/761;H01L21/763;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/00;(IPC1-7):H01L11/14;H01L9/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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