METHOD FOR APPLYING AN ATTENUATING COATING ON SURFACE WAVE COMPONENTS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer dämpfenden Beschichtung für Oberflächenwellenbauelemente mit einem dämpfenden, photohärtbaren Harz und Aushärten des Harzes entsprechend der geforderten Dämpfungsstruktur durch bildmässiges scannendes Belichten und Abtragen der ungehärteten Bereiche. Vorzugsweise wird zum Belichten ein UV-Laser verwendet.