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Das mikromechanische elektrostatische Relais besitzt ein Basissubstrat mit Basiselektrode und mindestens zwei Basiskontaktstücken, außerdem ein Ankersubstrat mit einem freigeätzten, im Bereich einer mittleren Schwenkachse (20) über flexible Bänder (25, 26) schwenkbar aufgehängten rippenförmigen Anker. Der Anker (21) bildet beiderseits der Schwenkachse (20) jeweils einen in sich flexiblen, im Ruhezustand von dem Basissubstrat weg gekrümmten Ankerflügel (21a, 21b), von denen jeder mit dem Basissubstrat einem im Ruhezustand keilförmig sich nach außen erweiternden Arbeitsluftspalt bildet. Beim Anlegen einer Spannung zwischen einer Ankerelektrode und einer unter dem jeweiligen Ankerflügel (21a, 21b) angeordneten Basiselektrode (11, 12) wird der Anker um die Schwenkachse geschwenkt, während gleichzeitig der betreffende Ankerflügel (21a, 21b) auf der Basiselektrode abrollt und einen zugehörigen Kontakt schließt.
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