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发明名称 BEHANDLUNGSVERFAHREN FÜR EINE HALBLEITERSCHEIBE.
摘要
申请公布号 DE69327176(D1) 申请公布日期 2000.01.05
申请号 DE1993627176 申请日期 1993.06.30
申请人 TRIKON EQUIPMENTS LTD., LITTLETON-UPON-SEVERN 发明人 DOBSON, CHRISTOPHER DAVID
分类号 H01L21/316;B05D7/24;H01L21/00;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/316;C23C16/56 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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