发明名称 Test method and device for a semiconductor integrated circuit
摘要
申请公布号 EP0939320(A3) 申请公布日期 2000.01.05
申请号 EP19990100078 申请日期 1999.01.05
申请人 NEC CORPORATION 发明人 KUDO, KAZUYA
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;G06F11/22;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/318 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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