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发明名称 MICRO-ELECTROMECHANICAL RELAYS
摘要
申请公布号 EP0968530(A1) 申请公布日期 2000.01.05
申请号 EP19970906500 申请日期 1997.02.04
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 TAI, YU-CHONG;WRIGHT, JOHN, A.
分类号 H01H50/00;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01H50/00
代理机构 代理人
主权项
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