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发明名称 A HIGH CAPACITY EPITAXIAL REACTOR
摘要
申请公布号 EP0461194(B1) 申请公布日期 2000.01.05
申请号 EP19900904991 申请日期 1990.02.28
申请人 MOORE EPITAXIAL, INC. 发明人 MOORE, GARY, M.
分类号 C23C16/44;C23C16/46;C23C16/48;C30B25/02;C30B25/10;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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