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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER PLANAREN HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE1514807(B2) 申请公布日期 1971.09.02
申请号 DE19651514807 申请日期 1965.04.14
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;C23C8/00;C23C16/40;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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