| 发明名称 |
Illuminator for inspecting substantially flat surfaces |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7786998(A) |
申请公布日期 |
2000.01.05 |
| 申请号 |
AU19980077869 |
申请日期 |
1998.06.16 |
| 申请人 |
ORBOTECH LTD. |
发明人 |
YIGAL KATZIR;EYAL TEICHMAN;IDIT GINOSSAR;SHABTAI NEGRY;AVRAHAM GROSS;ODED ARNON |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G02B5/10;G02B7/182 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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