| 摘要 |
본 발명은 사용 지점에 증기상 생성물을 송출하기 위한 신규한 시스템 및 방법 뿐 아니라, 신규한 현장내(on-site) 화학물질 분배 시스템 및 방법을 제공하고자 하는 것이다. 사용 지점에 증기상 생성물을 송출하기 위한 시스템은 자체의 증기압하에서 액상 화학물질을 포함하는 저장 용기, 화학물질을 오염된 중질의 액상 유분 및 정제된 경질의 증기상 유분으로 분별시키는, 저장 용기로부터의 액화 상태의 화학물질을 수용하도록 연결된 칼럼, 정제된 경질의 증기상 유분을 칼럼으로부터 제거하기 위해 칼럼에 연결된 도관을 포함한다. 시스템은 정제된 증기상 유분을 유입하기 위해 사용 지점에 연결되어 있다. 본 발명은 반도체 제조시에 1 종 이상의 반도체 가공 공구에 전자 공학용 특수 기체를 송출하는데 특히 유용하다. |
