| 摘要 |
판(1)은 패턴 형성면(111)에 근접하게 또는 접촉하게 하고, 그 패턴 형성면에 유동체(62)가 형성되게 한다. 이러한 방법은 판(1)을 패턴 형성면(111)에 근접시키거나 실질적으로 접촉시키는 단계와; 유동체(62)의 공급을 위하여 판(1)의 패턴 전사영역(10)에 설치되는 복수개의 관통구멍(12)에 유동체(62)를 공급하는 단계와; 유동체(62)가 관통구멍(12)을 통과하여 그 패턴 형성면(111)에 부착한 후에, 그 패턴 형성면(111)으로부터 판(1)을 분리하는 단계를 포함한다. |
