MILLIACTUATOR WITH INTEGRATED SENSOR AND DRIVERS AND METHOD MANUFACTURING THE SAME

摘要

본 발명은 단일 실리콘 기판 상에 형성되는 드라이버 및 상대 위치 에러 센서 회로와 일체형인 밀리액츄에이터에 관한 것이다. 일체형 밀리액츄에이터/전자장치 모듈은 서스펜션과 슬라이더/변환기 어셈블리 사이에 위치되어 자기 디스크 드라이브의 디스크 상의 데이터 트랙에 걸쳐 슬라이더/변환기의 신속하고 소량의 이동 위치에 대한 제어를 한다. 밀리액츄에이터 전자장치와 밀리액츄에이터를 일체로 형성하면 기생 부하(parasitic loading) 및 자기 변환기 신호와의 간섭 문제가 줄어든다. 전자장치 회로가 실리콘 웨이퍼 상에 장착되고 그 다음에 이 회로의 상부에 장착되는 밀리액츄에이터로부터의 절연용 평탄화층(planarization layer) 및 기준 평면층(ground plane layer)이 증착된다.