| 摘要 |
광원수와 분할 광빔수를 최적화하여, 충분하게 저감된 스펙클 콘트라스트를 가진 광빔을 조명광으로서 사용할 수 있다. 공간 변조기를 통해 결상하기 위한 광학 시스템에서, 파수의 스펙트럼 폭을 갖고, N개(N은 1이상의 정수임)의 광원으로부터 출사된 레이저 광은 번들 파이버로 가이드되어, 광을 M개의 광빔으로 분할(M은 2 이상의 정수임)하고, 각각의 광빔에 가간섭 거리 이상의 광로 길이차를 준 후, 공간 변조기를 조명하기 위하여 광축이 서로 다시 맞추어지고, 피조명체 상의 일점으로부터 그에 대응하는 상 상측까지의 광로 길이차가 σ의 표준 편차를 갖을 때, 하기 수학식 49, 로 나타내는 관계를 만족하도록 상기 M 및 상기 N을 설정한다. |
