发明名称 DEVICE FOR PRODUCING PLASMA
摘要 <p>진공실(3)에서 교번 전자계의 도움으로 플라즈마를 발생시키는 장치에서는 절연 재료로 된 관(5)의 내부에 있는 막대형 도체(4)가 진공실(3) 안으로 들어가며, 절연관(5)의 내측 직경이 도체(4)의 직경보다 크며, 절연관(5)의 적어도 한쪽 단부가 진공실(3)의 벽(6, 7)에 고정되고 벽(6, 7)의 맞은 편 쪽으로 절연관(5)의 외부면이 밀폐되며, 도체(4)의 적어도 한쪽 단부가 교번 전자계를 생성하는 제1 소스(8, 9)에 연결되며, 이 막대형 도체(4)에서 진공실(3) 내부로 돌출하는 부위가 나선부(2)로 형성되고, 파장 λ= 10°< α < 15°일 때 그 부위의 나선 길이(L)가 L = C/cos(α)이다.</p>
申请公布号 KR19990088498(A) 申请公布日期 1999.12.27
申请号 KR19990018617 申请日期 1999.05.24
申请人 null, null 发明人 리르미카엘
分类号 H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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