COMPOSITE CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

摘要

본 발명은 동일 시료실 내에 집속 이온 빔 렌즈통과 전자 빔 렌즈통을 가진 복합 하전 입자 빔 장치에 있어서, 전자 빔 렌즈통의 대물렌즈의 잔류 자기를 삭자(削磁)하는 전자기적 수법과, 상기 전자 빔 렌즈통의 대물렌즈의 여자전류값을 기억하는 기능을 가진 것을 특징으로 한다. 그리고, 집속 이온 빔으로 절환하는 타이밍에서 전자 빔 렌즈통의 대물렌즈의 잔류 자기를 삭자한다.