发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11354467(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980161643 申请日期 1998.06.10
申请人 NEC CORP 发明人 MIURA YOSHINAO
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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