| 发明名称 |
APPARATUS FOR EXPOSING SUBSTRATE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11352698(A) |
申请公布日期 |
1999.12.24 |
| 申请号 |
JP19990138176 |
申请日期 |
1999.05.19 |
| 申请人 |
ORC TECHNOL INC |
发明人 |
GREGORY R BAXTER;JAMES H BOSHEN;EUGENE J MELBON;VICTOR M JACOBO |
| 分类号 |
H01J9/02;G03B27/10;G03F7/20;G09F9/30;H01J9/227;H01J11/02;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
H01J9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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