发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11354541(A) |
申请公布日期 |
1999.12.24 |
申请号 |
JP19980163832 |
申请日期 |
1998.06.11 |
申请人 |
FUJITSU QUANTUM DEVICES KK |
发明人 |
MATSUDA HAJIME |
分类号 |
H01L29/872;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/872 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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