发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11354541(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980163832 申请日期 1998.06.11
申请人 FUJITSU QUANTUM DEVICES KK 发明人 MATSUDA HAJIME
分类号 H01L29/872;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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