发明名称 SCANNING PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11354425(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980172159 申请日期 1998.06.04
申请人 CANON INC 发明人 TAKAHASHI KAZUHIRO
分类号 G01J1/42;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G01J1/42
代理机构 代理人
主权项
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