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发明名称
SCANNING PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号
JPH11354425(A)
申请公布日期
1999.12.24
申请号
JP19980172159
申请日期
1998.06.04
申请人
CANON INC
发明人
TAKAHASHI KAZUHIRO
分类号
G01J1/42;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G01J1/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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