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发明名称 CLUSTER TOOL DEVICE AND FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH11354514(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980160800 申请日期 1998.06.09
申请人 SONY CORP 发明人 SAGA KOICHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/304;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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