发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11354533(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980160497 申请日期 1998.06.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG CORP 发明人 OTSU YOSHITAKA;IGARASHI TAKAYUKI;RITSUTAKU CHO;YOSHIHISA YASUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L29/43;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址