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发明名称 METHOD FOR FORMING ALIGNMENT MARK, ALIGNMENT METHOD, MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH11354415(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980162066 申请日期 1998.06.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SAITO TAKU
分类号 G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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