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发明名称 HOMOGENIZER DEVICE WITH BEAM ROTATING FUNCTION AND LASER BEAM MACHINING DEVICE USING IT
摘要
申请公布号 JPH11352420(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980156303 申请日期 1998.06.04
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 YAMAZAKI KAZUNORI
分类号 G02B26/00;H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):G02B26/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
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