| 发明名称 |
SURFACE INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11352070(A) |
申请公布日期 |
1999.12.24 |
| 申请号 |
JP19980181469 |
申请日期 |
1998.06.11 |
| 申请人 |
NISHIKO MASAMI;OHASHI YOSHIHARU |
发明人 |
NISHIKO MASAMI;OHASHI YOSHIHARU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/958;G02F1/13;G02F1/1333;(IPC1-7):G01N21/88;G02F1/133 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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