发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FABRICATION
摘要
申请公布号 JPH11354757(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980158215 申请日期 1998.06.05
申请人 NEC CORP 发明人 OTSUKI TOMOAKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址