Verfahren und Vorrichtung zum Abfasen von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号
DE69509561(T2)
申请公布日期
1999.12.23
申请号
DE1995609561T
申请日期
1995.01.03
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS
发明人
SIMPSON, VIKKI S.;GULLETT, TOM G.;MEDDERS, JERRY B.;ROBBINS, BOBBY R.;DYER, LAWRENCE D.;KING, CLYDE A.;CLARK, ARTHUR R.;NEWTON, DANNY R.;BILDERBACK, DOUGLAS W.
