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发明名称
Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号
DE69131593(T2)
申请公布日期
1999.12.23
申请号
DE19916031593T
申请日期
1991.10.10
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
TODOKORO, HIDEO;TAKAMOTO, KENJI;OTAKA, TADASHI
分类号
G01B15/00;G01B15/04;H01J37/28;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/28
主分类号
G01B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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