基于法布里－珀罗共振腔的光学压力传感器

摘要

一种测力传感器。它包括主体部件１５，弹性装在部件１５上的感测元件２７、３７，作为受力元件，其相对于部件１５的变位来计算加在元件上的力致动的感测元件；和决定感测元件的变位的光测组件１，２，３，５，６。按本发明所述部件和元件组成反射模式的短光法布里珀罗共振器２１，２３。光测组件包括宽谱光源，把其光束导向共振器３３并导回感测元件的光导体２，３和把共振器的光谱分辨成波段的色散元件５，以及检测色散光谱中最大吸收值波长的检测元件６。

主权项

1.一种用于测力的法布里-珀罗传感器，所述传感器包括：主体部分(15)；弹性地安装在所述主体部分(15)上的感应元件(27,37)，作为一个受力元件的致动后感应元件可利用其相对于主体部分(15)的弯曲度计算施加在所述感应元件(27,37)上的力，从而使所述主体部分(15)和所述感应元件(27,37)形成一个工作在弯曲状态下的光学法布里-珀罗传感器；决定感应元件(27,37)弯曲度的光学检测装置(1,2,3,5,6)；所述光学检测装置(1,2,3,5,6)包括：宽频谱光源(1)；把一束光从所述光源(1)导向所述共振器(33)并导回到检测元件的光导体(2,3)；把所述共振器(33)接收到的光谱分辨成若干波段的色散元件(5)；检测色散光谱中吸收最大值(A1,A2)的波长的检测元件(6)；借此可利用光强最小值的位置计算出与施加在感应元件(27,37)上的外力(F,F′)成比例的共振器(33)的光程；其特征在于：该法布里-珀罗共振器的主体部分(15)是单晶硅的，以及该光学法布里-珀罗共振器是短共振器(21,23)，其间隙长度(d)为0.6-1.5μm。