发明名称 Method of fabricating semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2318450(B) 申请公布日期 1999.12.22
申请号 GB19970022030 申请日期 1997.10.17
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 KENJI * WATANABE
分类号 H01L21/304;H01L21/316;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/321 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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