| 发明名称 | 制作磁控管的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明磁控管的制作方法包括：第一种混合气体生成过程，通过将含有氮气和氢气的第一种运载气体混入一种没有致癌作用的液态碳氢化合物中生成第一种混合气体；第二种混合气体生成过程，通过将含有氮气和氢气的第二种运载气体混入第一种混合气体中生成第二种混合气体；碳化物生成反应过程，通过对置于第二种混合气体中的阴极进行加热，使阴极表面形成金属碳化物层。及这样的磁控管制作设备。 | ||
| 申请公布号 | CN1239315A | 申请公布日期 | 1999.12.22 |
| 申请号 | CN99106991.9 | 申请日期 | 1999.06.04 |
| 申请人 | 松下电子工业株式会社 | 发明人 | 伊藤猛;大原孝文;纲川丰 |
| 分类号 | H01J9/02;H01J23/05 | 主分类号 | H01J9/02 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
| 主权项 | 1.一种制作磁控管的方法，包括：第一种混合气体生成过程，其中，通过将包括氮气和氢气的第一种运载气体混入没有致癌作用的液态碳氢化合物中生成第一种混合气体；第二种混合气体生成过程，其中，通过将包括氮气和氢气的第二种运载气体混入上述第一种混合气体中生成第二种混合气体；碳化物生成过程，其中，通过对置于上述第二种混合气体中的阴极实施加热，在阴极表面形成金属碳化物层。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||