| 发明名称 |
A scanning electron microscope |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0561584(B1) |
申请公布日期 |
1999.12.22 |
| 申请号 |
EP19930301932 |
申请日期 |
1993.03.15 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
TODOKORO, HIDEO;OHTAKA, TADASHI |
| 分类号 |
H01J37/073;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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