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经营范围
发明名称
Verunreinigungs-Diffusionsverfahren
摘要
申请公布号
DE2129931(A1)
申请公布日期
1971.12.23
申请号
DE19712129931
申请日期
1971.06.16
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO.LTD.
发明人
HARA,TOHRU;NAKAMURA,SHIGEAKI
分类号
C30B31/16;H01L21/00;H01L21/223
主分类号
C30B31/16
代理机构
代理人
主权项
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