| 发明名称 |
VENTILATING STRUCTURE OF POLISHING CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11347937(A) |
申请公布日期 |
1999.12.21 |
| 申请号 |
JP19980174106 |
申请日期 |
1998.06.05 |
| 申请人 |
SPEEDFAM-IPEC CO LTD |
发明人 |
HIRATA KAZUHIKO;MATSUBARA HISATO |
| 分类号 |
B24B55/06;F24F13/068;F24F13/08;(IPC1-7):B24B55/06 |
主分类号 |
B24B55/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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