| 发明名称 |
SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER AND PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11349393(A) |
申请公布日期 |
1999.12.21 |
| 申请号 |
JP19980170629 |
申请日期 |
1998.06.03 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TAMAZUKA MASARO;KIMURA AKIHIRO;MIKI KATSUHIKO;IIDA MAKOTO |
| 分类号 |
C30B15/04;C30B15/00;C30B33/00;G05D23/19;H01L21/66;(IPC1-7):C30B15/04 |
主分类号 |
C30B15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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