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经营范围
发明名称
FORMATION OF SILICA FILM
摘要
申请公布号
JPH11350142(A)
申请公布日期
1999.12.21
申请号
JP19980153345
申请日期
1998.06.02
申请人
ASAHI GLASS CO LTD
发明人
AZUMA SEIJI;TANEDA NAOKI
分类号
C23C16/42;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/42
主分类号
C23C16/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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