| 发明名称 |
PRODUCTION OF PATTERN FILM AND ELECTRONIC PARTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11347478(A) |
申请公布日期 |
1999.12.21 |
| 申请号 |
JP19980156530 |
申请日期 |
1998.06.05 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
NISHIZAWA HIROSHI;YOSHINO ATSUSHI;SAKATA TOICHI;HIRAI KEIZO |
| 分类号 |
B05D1/26;B05C11/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/26 |
主分类号 |
B05D1/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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