发明名称
摘要
申请公布号 FR2094024(A1) 申请公布日期 1972.02.04
申请号 FR19710015064 申请日期 1971.04.20
申请人 IBM 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/00;H01L7/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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