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发明名称
摘要
申请公布号	FR2094473(A5)	申请公布日期	1972.02.04
申请号	FR19700023085	申请日期	1970.06.23
申请人	ASAHI KOGAKU KOGYO KK	发明人
分类号	G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/00	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
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