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发明名称
摘要
申请公布号 JP2991050(B2) 申请公布日期 1999.12.20
申请号 JP19940198217 申请日期 1994.08.23
申请人 SUMITOMO KINZOKU KOGYO KK 发明人 AZUMA SHIGEKI;PPONCHI MASAHIRO;FURUKATA MUNEKATSU
分类号 C23C8/18;C22C38/00;C22C38/44;H01L21/02;(IPC1-7):C22C38/00 主分类号 C23C8/18
代理机构 代理人
主权项
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