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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON BEARBEITUNGS MASKEN FUER DIE FERTIGUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE1464681(B2) 申请公布日期 1972.02.24
申请号 DE19621464681 申请日期 1962.12.21
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/00;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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