发明名称 Verfahren zur Herstellung eines einkristallinen Dünnfilmes
摘要
申请公布号 DE69324633(T2) 申请公布日期 1999.12.16
申请号 DE1993624633T 申请日期 1993.07.07
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.;THE TOKYO ELECTRIC POWER CO., INC. 发明人 YOSHIDA, NORIYUKI;TAKANO, SATOSHI;FUJINO, KOUSOU;OKUDA, SHIGERU;HARA, TSUKUSHI;ISHII, HIDEO
分类号 C30B23/02;C30B25/18;H01L39/24 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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