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发明名称 PATTERNED SUSCEPTOR TO REDUCE ELECTROSTATIC FORCE
摘要
申请公布号 KR100236219(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19950012661 申请日期 1995.05.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INCOPORATED 发明人 MARK A. FODOR;CRAIG A. BERCAW;CHARLES, DORNFEST
分类号 B23Q3/15;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
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