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发明名称 GAS SUPPLYING LINE STRUCTURE OF DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100234911(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19960065427 申请日期 1996.12.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, CHONG-MYUNG;KIM, CHANG-SIK;KIM, IK-JU;MUN, KYUNG-SEOP
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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